| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PHOTOAKTIVEN VERBINDUNG UND DIESE VERBINDUNG ENTHALTENDER PHOTORESIST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69902633(T2) |
申请公布日期 |
2003.03.06 |
| 申请号 |
DE19996002633T |
申请日期 |
1999.01.20 |
| 申请人 |
CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN |
发明人 |
OBERLANDER, E. |
| 分类号 |
C07C303/28;C07C309/71;C07C309/76;G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 |
主分类号 |
C07C303/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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