发明名称 Herstellungsmethode für Elektroden für Grabenkondensatoren
摘要
申请公布号 DE69332427(T2) 申请公布日期 2003.03.06
申请号 DE19936032427T 申请日期 1993.07.12
申请人 NORTEL NETWORKS LTD., ST.LAURENT 发明人 ELLUL, JOSEPH P.;BOYD, JOHN M.;ROWLANDSON, MICHAEL B.
分类号 H01L27/04;H01L21/334;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/94;(IPC1-7):H01L29/94 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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