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发明名称 Verfahren zur Abscheidung von Galliumnitrid auf Silizium-Substraten
摘要
申请公布号 DE19725900(C2) 申请公布日期 2003.03.06
申请号 DE19971025900 申请日期 1997.06.13
申请人 BIMBERG, DIETER;KROST, ALOIS;STRITTMATTER, ANDRE 发明人 BIMBERG, DIETER;KROST, ALOIS;STRITTMATTER, ANDRE
分类号 H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/18;C30B29/38 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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