发明名称 Verfahren zur Herstellung eines optischen Elements
摘要
申请公布号 DE69714368(T2) 申请公布日期 2003.03.06
申请号 DE19976014368T 申请日期 1997.10.02
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 UNNO, YASUYUKI
分类号 G02B5/18;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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