| 发明名称 | 薄膜 | ||
| 摘要 | 薄膜包括具有上端和下端开口部分的箱形薄膜框架，以及与薄膜相粘结的薄膜片，以覆盖薄膜框架的一个开口部分，其中，薄膜框架是采用石英玻璃制成的，所制成的多个通气孔分布在薄膜框架的相对侧壁上，并且通气孔在薄膜框架高度方向上的尺寸约为薄膜框架高度的3/5。 | ||
| 申请公布号 | CN1400627A | 申请公布日期 | 2003.03.05 |
| 申请号 | CN02127383.9 | 申请日期 | 2002.07.30 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 冈田要;菊川信也 |
| 分类号 | H01L21/00;G03F7/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 钱慰民 |
| 主权项 | 1.一种薄膜，包括具有上端和下端开口部分的箱形薄膜框架，以及与薄膜框架相粘结的薄膜片，以覆盖薄膜框架的所述开口部分之一，其特征在于：薄膜框架采用石英玻璃制成，在所述薄膜框架的相对侧壁上分布形成多个通气孔，所述通气孔在所述薄膜框架高度方向上的尺寸至多为薄膜框架高度的3/5。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||