| 发明名称 |
METHOD FOR RELAXING STRESS IN BLANKET TUNGSTEN FILM FORMED BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1100116(A4) |
申请公布日期 |
2003.03.05 |
| 申请号 |
EP19990912121 |
申请日期 |
1999.04.06 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
KITAZAKI, MASAKI;TANAKA, KEIICHI |
| 分类号 |
C23C16/14;C23C16/02;C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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