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发明名称 Method of forming a compound semiconductor film
摘要
申请公布号 EP0810307(B1) 申请公布日期 2003.03.05
申请号 EP19970303690 申请日期 1997.06.02
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA;THE UNIVERSITY OF NOTTINGHAM 发明人 BESTWICK, TIMOTHY DAVID;HOOPER, STEWART EDWARD;DUGGAN, GEOFFREY;CHENG, TIN SUN;FOXON, CHARLES THOMAS BAYLEY
分类号 C30B29/40;C30B23/02;H01L21/203;H01L21/205;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/323;(IPC1-7):C30B23/02 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
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