Apparatus and process for remote microwave plasma generation,申请号EP19980107040-传众专利搜索

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发明名称	Apparatus and process for remote microwave plasma generation
摘要
申请公布号	EP0874386(B1)	申请公布日期	2003.03.05
申请号	EP19980107040	申请日期	1998.04.17
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	BKATNAGAR, YASHRAJ K.
分类号	H05H1/46;H01J37/32;H01L21/31;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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