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发明名称 Precursor with (methoxy) (methyl) silylolefin ligands to deposit copper and method for the same
摘要
申请公布号 EP0852229(B1) 申请公布日期 2003.03.05
申请号 EP19970308824 申请日期 1997.11.04
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA;SHARP MICROELECTRONICS TECHNOLOGY, INC. 发明人 SENZAKI, YOSHIHIDE;CHARNESKI, LAWRENCE JOEL;KOBAYASHI, MASATO;NGUYEN, TUE
分类号 C07F7/18;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C07F7/18 主分类号 C07F7/18
代理机构 代理人
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