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发明名称
摘要
申请公布号	JP3383697(B2)	申请公布日期	2003.03.04
申请号	JP19930317870	申请日期	1993.12.17
申请人		发明人
分类号	G02F1/35;G02F1/355;G02F1/37;G02F1/377;H01L27/15;H01S3/109;H01S5/026;H01S5/50;(IPC1-7):H01S5/50	主分类号	G02F1/35
代理机构		代理人
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