发明名称 A method and system for measurements in patterned structures
摘要
申请公布号 AU2002324314(A1) 申请公布日期 2003.03.03
申请号 AU20020324314 申请日期 2002.08.08
申请人 NOVA MEASURING INSTR LTD 发明人 FINAROV MOSHE
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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