可对准式之光阻喷洒装置

摘要

一种可对准式之光阻喷洒装置，此可对准式之光阻喷洒装置包括外管、固定件以及内管。外管具有一外管端部。内管系套入外管中，且内管具一光阻液输出端，其中包含光阻液输出端之部分内管突出于外管端部。固定件设置于外管上，其中固定件具有第一端部与第二端部，且第一端部固定于外管端部，第二端部突出于外管端部，并且内管之光阻液输出端固定于固定件之第二端部。经由本发明的光阻喷洒装置，能够将光阻喷嘴调整固定于适当的位置，以避免产生光阻涂布厚度不均，或是玻璃基板反面涂布的问题；并且能够观察光阻液于光阻喷洒装置中的输送情形，即时发现问题并加以解决。

主权项

1.一种可对准式之光阻喷洒装置,包括:一外管,该外管具一外管端部;一内管,该内管系套入该外管中,且该内管具一光阻液输出端,其中包含该光阻液输出端之部分该内管突出于该外管端部;以及一固定件,设置于该外管端部,其中该固定件具有一第一端部与一第二端部,且该第一端部固定于该外管上,并且该内管之该光阻液输出端固定于该固定件之该第二端部。2.如申请专利范围第1项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该固定件之该第二端部具有一开口,且该内管之该光阻液输出端穿过并固定于该开口。3.如申请专利范围第1项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该固定件之该第二端部突出于该外管端部。4.如申请专利范围第1项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该外管的材质包括金属。5.如申请专利范围第1项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该内管的材质包括塑胶。6.如申请专利范围第1项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该内管的材质包括透明材质。7.如申请专利范围第1项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该固定件的材质包括金属。8.一种可对准式之光阻喷洒装置,包括:一同轴管,该同轴管包含一外管以及一内管,其中该内管具有一光阻液输出端,并且包含该光阻液输出端之部分该内管突出于该外管;以及一固定件,设置该同轴管之该外管末端,其中该固定件具有一第一端部与一第二端部,且该第一端部固定于该外管上,且该内管之该光阻液输出端固定于该固定件之该第二端部。9.如申请专利范围第8项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该固定件之该第二端部具有一开口,且该内管之该光阻液输出端穿过并固定于该开口。10.如申请专利范围第8项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该固定件之该第二端部突出于该外管。11.如申请专利范围第8项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该外管的材质包括金属。12.如申请专利范围第8项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该内管的材质包括塑胶。13.如申请专利范围第8项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该内管的材质包括透明材质。14.如申请专利范围第8项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该固定件的材质包括金属。15.一种可对准式之光阻喷洒装置,包括:一外管,该外管具一外管端部;一内管,该内管系套入该外管中,且该内管具一光阻液输出端,其中包含该光阻液输出端之部分该内管突出于该外管端部;以及一固定件,设置于该外管端部,其中该固定件具有一第一端部与一第二端部,且该第一端部固定于该外管上,其中该固定件之该第二端部具有一开口,且该内管之该光阻液输出端穿过并固定于该开口。16.如申请专利范围第15项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该外管的材质包括金属。17.如申请专利范围第15项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该固定件之该第二端部突出于该外管端部。18.如申请专利范围第15项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该内管的材质包括塑胶。19.如申请专利范围第15项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该内管的材质包括透明材质。20.如申请专利范围第15项所述之可对准式之光阻喷洒装置,其中该固定件的材质包括金属。图式简单说明:第1图是习知一种以旋转涂布法进行光阻涂布的光阻喷洒装置的示意图;以及第2图是依据本发明较佳实施例之一种以旋转涂布法进行光阻涂布的可对准式之光阻喷洒装置的示意图。