| 主权项 |
1.一种半导体制程控制系统,用以处理复数半导体设备之制程属性变更,包括:一设备资料模组,用以储存对应该等半导体设备之复数设备代号及对应该等设备代号之复数制程属性资料;以及一制程资料模组,用以储存对应该等制程属性资料之复数制程资料,其中每一该等制程资料具有至少一既定设备代号及一备用设备代号;其中,当变更一该等设备代号之该制程属性资料为另一制程属性资料时,对应于变更该制程属性资料前的该制程资料中,该既定设备代号系变更为一无效设备代号,且对应于变更该制程属性资料后的该制程资料中,该备用设备代号系变更为未变更成无效设备代号之该既定设备代号。2.如申请专利范围第1项所述之半导体制程控制系统,更包括一操作介面,用以依据该既定设备代号及该备用设备代号来选择对应的该等制程设备以进行半导体制程。3.如申请专利范围第1项所述之半导体制程控制系统,其中该等制程属性资料系分为前段制程属性、中段制程属性及后段制程属性。4.如申请专利范围第1项所述之半导体制程控制系统,其中该等制程资料系分为前段制程、中段制程及后段制程。5.如申请专利范围第1项所述之半导体制程控制系统,其中该既定设备代号系该等设备代号之一。6.如申请专利范围第2项所述之半导体制程控制系统,其中该无效设备代号系一具标记设备代号而使该操作介面无法选择。7.如申请专利范围第2项所述之半导体制程控制系统,其中未变更之该备用设备代号系一空设备代号而使该操作介面无法选择。8.一种处理半导体设备变更制程属性的方法,适用于一半导体制程控制系统,该半导体制程控制系统包括一设备资料模组,用以储存对应复数半导体设备之复数设备代号及对应该等设备代号之复数制程属性资料,以及一制程资料模组,用以储存对应该等制程属性资料之复数制程资料,其中每一该等制程资料具有至少一既定设备代号及一备用设备代号,包括下列步骤:将一该等设备代号之该制程属性资料变更为另一制程属性资料;以及在对应于变更该制程属性资料前的该制程资料中,将该既定设备代号变更为一无效设备代号,同时对应于变更后该制程属性资料的该制程资料中,将该备用设备代号变更为未变更成无效设备代号之该既定设备代号。9.如申请专利范围第8项所述之处理半导体设备变更制程属性的方法,更包括藉由一操作介面依据该既定设备代号及该备用设备代号来选择对应的该等制程设备以进行半导体制程的步骤。10.如申请专利范围第8项所述之处理半导体设备变更制程属性的方法,其中该等制程属性资料系分为前段制程属性、中段制程属性及后段制程属性。11.如申请专利范围第8项所述之处理半导体设备变更制程属性的方法,其中该等制程资料系分为前段制程、中段制程及后段制程。12.如申请专利范围第8项所述之处理半导体设备变更制程属性的方法,其中该既定设备代号系该等设备代号之一。13.如申请专利范围第9项所述之处理半导体设备变更制程属性的方法,其中该无效设备代号系一具标记设备代号而使该操作介面无法选择。14.如申请专利范围第9项所述之处理半导体设备变更制程属性的方法,其中未变更之该备用设备代号系一空设备代号而使该操作介面无法选择。图式简单说明:第1图系绘示出根据本发明实施例之一半导体制程控制系统中示意图;第2图系绘示出根据第1图之变更设备制程属性之半导体制程控制系统示意图;以及第3图系绘示出根据本发明实施例之处理半导体设备变更制程属性的方法流程图。 |
