| 主权项 |
1.一种电子束蒸镀机晶圆架之弹性扣件组合,系设于该电子束蒸镀机中之一晶圆篷架上,乃包括:一座体,系设于该晶圆蓬架上,又包括有一座体顶缘与一露于该座体顶缘之固定螺孔;一弹性臂,又包括有一通孔;一固定垫体,又包括有一间隔部、一与该间隔部连接之穿越部、一穿过该间隔部与该穿越部之螺丝通孔、一设于该间隔部一上方之顶缘面、及一设于该穿越部一下方之底缘面;以及一固定螺丝,又包括有一螺头底缘;其中,当该弹性扣件组合结合完成时,该固定垫体之该穿越部系穿过该弹性臂之该通孔,该固定垫体之该间隔部系夹置于该固定螺丝之该螺头底缘与该弹性臂间,而该固定螺丝则于穿过该固定垫体之该螺丝通孔后、再固定在该座体之该固定螺孔中;当该固定螺丝与该固定螺孔锁固后,该固定螺丝之该螺头底缘系与该固定垫体之该顶缘面形成密接,且该固定垫体之该底缘面又与该座体之该座体顶缘形成另一密接。2.如申请专利范围第1项所述之电子束蒸镀机晶圆架之弹性扣件组合,其中所述之该固定螺丝系为一全螺纹螺丝者。3.如申请专利范围第1项所述之电子束蒸镀机晶圆架之弹性扣件组合,其中所述之该固定螺丝系为一半螺纹螺丝者。4.如申请专利范围第1项所述之电子束蒸镀机晶圆架之弹性扣件组合,其中所述该固定垫体之该底缘面又包括至少一向下突出之下突点,且该座体之该座体顶缘又包括至少一与该下突点相对应之上凹陷,藉由该下突点与该上凹陷之对位配合,该固定垫体与该座体间乃产生一不相对转动之关系。5.如申请专利范围第1项所述之电子束蒸镀机晶圆架之弹性扣件组合,其中所述该固定垫体之该底缘面又包括至少一下凹陷,且该座体之该座体顶缘又包括至少一与该下凹陷相对应之上突点,藉由该下凹陷与该上突点之对位配合,该固定垫体与该座体间乃产生一不相对转动之关系。图式简单说明:图一系为一电子束蒸镀机内部配置之示意图;图二系为图一中晶圆架之部份立体示意图,其中之一置晶组合系以分解图示;图三系为图二中弹性扣件组合之立体分解示意图;图四系为本创作电子束蒸镀机晶圆架之弹性扣件组合较佳实施例之分解示意图;图五系为图四中弹性扣件组合之剖面图;图六系为本创作电子束蒸镀机晶圆架之弹性扣件组合另一实施例之部分剖面示意图;以及图七系为本创作电子束蒸镀机晶圆架之弹性扣件组合又一实施例之部分剖面示意图。 |
