发明名称 可防止气泡产生的晶圆贴片机
摘要 本创作是在提供一种可防止气泡产生的晶圆贴片机,包含一座体、一具有一滚筒的滚筒装置、数装设于该座体内的第一弹性元件、一工作平台、数装设于该工作平台上的第二弹性元件及一晶圆置放座,该工作平台是受该等第一弹性元件弹性支撑,该晶圆置放座是受该等第二弹性元件弹性支撑,当该滚筒往复移动而未触及该晶圆置放座时,该晶圆置放座的顶座面是高于该工作平台的顶台面,而,当该滚筒触及下压该顶座面时,该晶圆置放座会连动下压该等第二弹性元件。
申请公布号 TW523167 申请公布日期 2003.03.01
申请号 TW090224275 申请日期 2001.12.31
申请人 优力特科技股份有限公司 发明人 陈淑纹
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种可防止气泡产生的晶圆贴片机,包含:一座体,该座体上可定义出一第一方向,及一与该第一方向垂直的第二方向,该座体沿该第一方向具有相反的一第一端及一第二端;一滚筒装置,是滑设于该座体上,而可由一起始位置沿该第一方向于该第一、二端之间往复移动,且,该滚筒装置具有一滚筒,该滚筒的自身轴向是与该第二方向平行,且该滚筒可绕其自身轴向转动;数第一弹性元件,是装设于该座体内;一工作平台,具有一概平行于该第一、二方向所在平面的顶台面、一开设于该顶台面上的安装孔、一低于该顶台面所在位置的支撑部,及一设置于该顶台面上的定位单元,该工作平台是受该等第一弹性元件弹性支撑,当该滚筒装置离开该起始位置而在该第一、二端之间往复移动时,该滚筒装置的滚筒会下压该工作平台的顶台面,使该工作平台连动下压该等第一弹性元件并蕴藏回复弹性,且,藉由该定位单元,一中空的治具框可平置定位于该顶台面上并环绕于该安装孔外侧;数第二弹性元件,是装设于该工作平台的支撑部上;一晶圆置放座,具有一顶座面,以供一晶圆置放,且,该晶圆置放座是安装于该工作平台的安装孔内,并受该等第二弹性元件弹性支撑,当该滚筒往复移动而未触及该晶圆置放座时,该顶座面是高于该顶台面,而,当该滚筒触及下压该顶座面时,该晶圆置放座会连动下压该等第二弹性元件并蕴藏回复弹性;藉此,当该治具框定位于该顶台面上,且该晶圆置放于该顶座面上时,可将一胶带铺置于该治具框、该晶圆上,如此,再利用该滚筒沿该第一方向往复移动并下压该胶带,即可使该胶带平贴于该治具框、该晶圆上。2.依据申请专利范围第1项所述之可防止气泡产生的晶圆贴片机,更包含一耐热元件,且,该工作平台之安装孔的外径是大于该晶圆置放座的外径,而,该耐热元件是安装固设于该安装孔内,并围绕于该晶圆置放座的外周缘外侧,如此,当该晶圆置放座受热昇温时,该耐热元件可阻隔热能传导至该工作平台上。3.依据申请专利范围第1项所述之可防止气泡产生的晶圆贴片机,其中,该工作平台更具有一上方被台及一固设于该上方板台底侧的下圆盘,该顶台面是形成于该上方被台顶面上,该支撑部是形成于该下圆盘上,该支撑部具有数间隔开设的穿孔,该等第二弹性元件均为一压缩弹簧,具有相反的一顶端及一底端,该晶圆置放座更具有一底座面及数开设于该底座面上并与该等穿孔对应的螺孔,而,数具有一螺纹段、一杆身及一螺头的螺栓可穿过该等穿孔,使该等螺头位于该支撑部底侧之下,并藉该等螺纹段锁设于该等螺孔上,当该等螺栓锁设于该底座面的螺孔上时,该等第二弹性元件是套设于该等螺栓的杆身上,且,该等第二弹性元件的底端是抵接于该支撑部顶侧上,而,该等第二弹性元件的顶端是抵接于该底座面上,藉由该等螺头抵撑于该支撑部底侧上,可限制该等第二弹性元件弹性支撑该晶圆置放座上移的最高点。4.依据申请专利范围第1项所述之可防止气泡产生的晶圆贴片机,其中,该定位单元具有数凸设于该顶台面上的凸柱。5.依据申请专利范围第4项所述之可防止气泡产生的晶圆贴片机,其中,该定位单元更具有数设置于该顶台面上的磁铁。6.依据申请专利范围第4项或第5项所述之可防止气泡产生的晶圆贴片机,其中,该定位单元更具有数设置于该顶台面上的真空吸嘴。图式简单说明:第一图是习知一种晶圆贴片机的立体外观示意图;第二图是该晶圆贴片机打开一上盖体的的立体外观示意图;第三图是该晶圆贴片机的局部剖视示意图;第四图是一平面示意图,说明一治具框、一晶圆分别平置于该晶圆贴片机之一工作平台、一晶圆置放座上;第五图是该晶圆贴片机的使用示意图(一);第六图是该晶圆贴片机的使用示意图(二);第七图是该晶圆贴片机的使用示意图(三);第八图是本创作之可防止气泡产生的晶圆贴片机一较佳实施例的立体外观示意图;第九图是该较佳实施例打开一上盖体的的立体外观示意图;第十图是该较佳实施例的局部剖视示意图;第十一图是一平面示意图,说明一治具框、一晶圆分别平置于该较佳实施例之一工作平台、一晶圆置放座上;第十二图是该较佳实施例的使用示意图(一);及第十三图是该较佳实施例的使用示意图(二)。
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