| 主权项 |
1.一种振动控制系统,其系使用于成像术系统,且该振动控制系统包含:一晶圆台基座;至少两个致动器,其用于控制振动;至少两个感测器,其用于侦测该晶圆台基座之位移的至少一参数,及产生至少两信号以响应该位移;以及至少一电路,其电性连接于该致动器及该感测器;其中当藉该感测器侦测出该位移之至少一参数时,该感测器会发信号到该电路,该电路响应而激活该致动器,使该晶圆台基座安定。2.如申请专利范围第1项之振动控制系统,其中该致动器系选择自一声音圈马达及电活化堆叠致动器所组成之群。3.如申请专利范围第1项之振动控制系统,其中该感测器系选择自LVDT,过载指示器,雷射干涉仪,电容性位移感测器所组成之群。4.如申请专利范围第1项之振动控制系统,其中该电路包含一数位信号处理器。5.如申请专利范围第1项之振动控制系统,其中该电路包含:至少一数位信号处理器;至少一类比至数位转换器;以及至少一数位至类比转换器。6.如申请专利范围第1项之振动控制系统,其中该电路包含一控制技术。7.如申请专利范围第6项之振动控制系统,其中该控制技术系选择自线性二次高斯,H-无限,及mu合成所组成之群。8.如申请专利范围第1项之振动控制系统,其中该致动器使该晶圆台基座安定以密切地紧随着一命令式输入。9.一种振动控制系统,其系使用于微影术系统,且该振动控制系统包含:一晶圆台基座;至少两个致动器,其用于控制振动;至少两个感测器,其用于侦测该晶圆台基座之位移的至少一参数,及产生至少两信号以响应该位移;一信号调整器;以及一单一电路板电脑,其中当藉该感测器侦测出该位移之至少一参数时,该感测器会供给一信号到该信号处理器,该信号处理器供给一信号到该单一板电脑,以及该单一板电脑命令该致动器以命令该晶圆台基座循迹一所命令之位置。10.如申请专利范围第9项之振动控制系统,其中该致动器系选择自声音线圈马达及电活化堆叠致动器所组成之群。11.如申请专利范围第9项之振动控制系统,其中该感测器系选择自LVDT,过载指示器,雷射干涉仪,电容性位移感测器所组成之群。12.如申请专利范围第9项之振动控制系统,其中该晶圆台基座系命令以于0.19秒之内循迹一所命令之位置。图式简单说明:第1A图系典型之习知技术致动器之系统图;第1B及1C图系根据本发明之两系统的相对应图;第2A及2B图分别地显示根据本发明之基本致动器或感测器卡片之顶部及横剖面图;第2C图描绘具有电路元件之致动器或感测器卡片;第3图描绘另一卡片;第4A及4B图显示穿过第3图卡片之剖面;第5及5A图显示第3图卡片之层结构的细节;第6图显示共平面致动之致动器封装梳状电极;第7图描绘利用第6图卡片之扭曲的致动器封装;第8A及8B图分别地显示安装在一表面上或一棒上当作表面安装致动器的致动器;第9图显示安装为机械元件之致动器;第10图显示用于门架之电活化振动控制系统之实施例的方块图;第11图显示门架尖端处不具有及具有电活化振动控制之收集及置放器上的模拟频率响应;第12图显示不具有及具有电活化控制之收集及置放器的模拟时间响应;第13图显示扩增之应变能量浓度;第14图显示具有根据本发明之振动控制系统之检拾及置放机器的频率响应上闭路测试之结果;第15图显示具有根据本发明之振动控制系统之检拾及置放机器的增益控制上闭路测试之结果;第16图显示在成像机中之雷射量测系统所记录之误差信号之功率频谱密度;第17至20图显示如使用于一制造系统之本发明的不同实施例;第21图显示如使用于一制造系统之本发明的实施例;第22图显示晶圆台及晶圆台基座之简化的二维物理模型;第23图显示控制器结果;第24图显示用于台控制之方块图;第25图显示实验及分析结果;以及第26图显示实验及分析结果。 |
