发明名称 DISPOSICION BASADA EN LEVAS PARA SITUAR ANILLOS DE CONFINAMIENTO EN UNA CAMARA DE PROCESO POR PLASMA.
摘要 Una disposición basada en levas configurada para mover un anillo de confinamiento a lo largo de un primer eje de una cámara de proceso por plasma, estando dispuesto dicho anillo de confinamiento en un plano que es ortogonal a dicho primer eje, que comprende: un anillo de levas que tiene una pluralidad de regiones de levas formadas sobre una primera superficie de dicho anillo de levas; una pluralidad de palpadores de levas en contacto rodante con dicha primera superficie de dicho anillo de levas; una pluralidad de émbolos orientados paralelos a dicho primer eje, estando acoplada dicha pluralidad de émbolos a uno de entre dicha pluralidad de palpadores de leva y a dicho anillo de confinamiento, en la que dicha pluralidad de émbolos se mueven en una manera orquestada paralela a dicho primer eje a medida que dicho anillo de levas es rotado y dicha pluralidad de palpadores de levas permanecen en dicho contacto rodante con dicha primera superficie de dicho anillo de levas.
申请公布号 ES2182542(T3) 申请公布日期 2003.03.01
申请号 ES19990930477T 申请日期 1999.06.22
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 LENZ, ERIC, H.
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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