发明名称 Rotor für Turbomolekularpumpe
摘要
申请公布号 DE69625893(D1) 申请公布日期 2003.02.27
申请号 DE19966025893 申请日期 1996.09.05
申请人 VARIAN S.P.A., LEINI 发明人 CERRUTI, ROBERTO
分类号 F04D19/04;F04D29/02;(IPC1-7):F04D29/02 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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