METHOD FOR MEASURING SURFACE STRUCTURES

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erkennung von langwelligen Oberflächenstrukturen flächiger Prüflinge bei welchem erfindungsgemäss ein Muster infraroten Lichtes auf den Prüfling gestrahlt wird, das von dem Prüfling reflektierte infrarote Lichtmuster mit einer Infrarotkamera aufgenommen und zur Feststellung der oberflächenstruktur analysiert wird, und eine entsprechende Vorrichtung.