SUBSTRATE MATERIAL FOR X-RAY OPTICAL COMPONENTS

摘要

Die Erfindung betrifft Substratmaterial für röntgenoptische Komponenten für Röntgenstrahlen der Wellenlänge λR umfassend eine Glaskemarik mit einer Glasphase aus amorphen Material und einer Kristallphase, umfassend Mikrokristallite, wobei das amorphe Material positive Wärmeausdehung und die Mikrokristallite negative Wärmeausdehnung aufweisen und das stöchiometrische Verhältnis von Kristall zu Glasphase derart eingesellt wird, dass die Wärmeausdehnung alpha der Glaskeramik in einem Temperaturbereich von 20 °C bis 100 °C < 5 x 10<-6>K<-1>, insbesondere < 1 x 10<-6>K<-1> ist, wobei die mittlere Grösse der Mikrokristallite <2 λR, bevorzugt < λR, besonders bevorzugt < 2/3 λR, insbesondere < λR/2 ist. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Substratmaterial nach einer Oberflächenbearbeitung eine Rauhigkeit im High Spatial Frequency (HSFR)-Bereich < λR/100 rms, bevorzugt <λR/100rms, bevorzugt <λR/300rms ist.