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发明名称 Betätigungseinrichtung für eine nicht kippbare Platte einer Mikropositioniereinrichtung
摘要
申请公布号 DE69713821(T2) 申请公布日期 2003.02.27
申请号 DE1997613821T 申请日期 1997.01.28
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC., MURRAY HILL 发明人 GRIFFITH, JOSEPH EDWARD;KLEIMAN, RAFAEL NATHAN
分类号 G01B7/34;G01N13/00;G01N27/00;G01Q10/04;H01J37/20;H01L41/09;H02N2/02;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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