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发明名称 NON-CORROSIVE STRIPPING AND CLEANING COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0985021(B1) 申请公布日期 2003.02.26
申请号 EP19980920916 申请日期 1998.04.30
申请人 ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC. 发明人 HONDA, KENJI;MOLIN, RICHARD, MARK;HANSEN, GALE, LYNNE
分类号 G03F7/42;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C23G5/02;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):C11D7/26;C11D11/00;C11D3/00 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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