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发明名称 Preparation of a silicon substrate
摘要
申请公布号 EP1073107(B1) 申请公布日期 2003.02.26
申请号 EP20000306458 申请日期 2000.07.28
申请人 NTT ELECTRONICS CORPORATION;SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 MAEDA, YASUSHI;HORIGUCHI, MASAHARU;MAKIKAWA, SHINJI;EJIMA, SEIKI
分类号 G02B6/12;G02B6/13;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/306;H01L21/311 主分类号 G02B6/12
代理机构 代理人
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