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发明名称
Use of pulsed voltage in a plasma reactor
摘要
申请公布号
GB0301969(D0)
申请公布日期
2003.02.26
申请号
GB20030001969
申请日期
2001.08.17
申请人
MICRON TECHNOLOGY INC
发明人
分类号
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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