干式真空泵

摘要

一种干式真空泵，包括：箱体，具有连通吸入口和吐出口的内筒部；螺旋转子，在支撑该箱体的轴部上设置螺旋状齿形部，该齿形部在啮合状态下收容在内筒部内；定时齿轮，安装在二螺旋转子的轴部上且相互啮合；闭锁机构，将定时齿轮固定在轴部上，轴部和齿形部是用含20％～30％的镍的球状石墨铸铁铸成，以解决真空度降低的问题。另外，将齿形部长度定为L时，在齿形部向吐出侧设成1/(20L)的锥形面，在从齿形部向吸入侧约10mm的位置朝吐出侧齿形部将直径设置成3/100～4/100mm小径的研销面，以防止齿形部烧结。另外，将供给箱内N₂气体连接吐出口和洗气器吐出管路，当作除去消音器的直管，防止吐出管路生成堆积物。

主权项

1.一种干式真空泵，其包含有：箱体，具有连通吸入口及吐出口的内筒部；多个螺旋转子，其在支撑于该箱体轴部上一体设有轴直角断面形状由双螺杆曲线、弧线、类阿基米得曲线所形成的螺旋状齿形部，而该齿形部在相互啮合状态下收容在上述内筒部内；定时齿轮，分别安装在该多个螺旋转子的轴上且相互啮合；以及闭锁机构，用于将该定时齿轮固定在上述轴上，其特征在于：上述螺旋转子的材质，为含有质量比为20％～30％的镍的球状石墨铸铁材料，且与低碳钢制造的上述闭锁机构具有大约相同的热膨胀系数。