| 发明名称 |
Cooling of a device for influencing an electron beam |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0301730(D0) |
申请公布日期 |
2003.02.26 |
| 申请号 |
GB20030001730 |
申请日期 |
2003.01.24 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS LITHOGRAPHY LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
G21K1/08;G03F7/20;G21K5/00;G21K5/04;H01J7/26;H01J29/00;H01J37/02;H01J37/04;H01J37/147;H01J37/16;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
G21K1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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