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发明名称 Metering device and method of metering
摘要
申请公布号 EP1079158(A3) 申请公布日期 2003.02.26
申请号 EP20000118017 申请日期 2000.08.22
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MOCK, RANDOLF, DR.;KAPPEL, ANDREAS, DR.;GOTTLIEB, BERNHARD, DR.;MEIXNER, HANS, PROF. DR.;FISCHER, BERNHARD;CHEMISKY, ERIC
分类号 F02M51/06;F02M61/08;F02M61/16;F16K31/00;H01L41/053;H01L41/083;(IPC1-7):F02M51/06;F02M59/46 主分类号 F02M51/06
代理机构 代理人
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