用于液晶显示板的薄膜晶体管基板及其制造方法

摘要

本发明涉及一种液晶显示板基板及其制造法。栅极构图包括透明绝缘基板像素区及周边区上的栅极线，和由其分出的栅电极。栅极绝缘膜在栅极构图和基板上。有源构图在栅极绝缘膜上且包括第一和第二杂质区及其间的沟道区。数据构图在有源构图和栅极绝缘膜上，包括漏极、源极和数据线。第一绝缘夹层在数据构图和栅极绝缘膜上，包括局部暴露漏电极的第一接触孔、分别暴露周边区的第一驱动晶体管的栅极和第二驱动晶体管的源/漏极的第二和第三接触孔。电极构图在第一绝缘夹层上，包括经第一接触孔与像素区的漏电极接触的第一电极构图，及经第二和第三接触孔连接第一驱动晶体管的局部暴露的栅电极和第二驱动晶体管的暴露的源/漏电极的第二电极构图。

主权项

1.一种液晶显示板基板，包括：栅极构图，包括分别形成于透明绝缘基板的像素区域和周边区域上的栅极线，以及从栅极线分出来的栅电极；栅极绝缘膜，形成于栅极构图和透明绝缘基板上；有源构图，形成于栅极绝缘膜上，所述有源构图包括第一杂质区、第二杂质区和形成于第一杂质区与第二杂质区之间的沟道区；数据构图，形成于有源构图和栅极绝缘膜上，所述数据构图包括与第一杂质区接触的漏电极、与第二杂质区接触的源电极和与漏电极连接的数据线；第一绝缘夹层，形成于数据构图和栅极绝缘膜上，第一绝缘夹层包括用于局部暴露漏电极的第一接触孔、用于暴露周边区域的第一驱动晶体管的栅电极的第二接触孔，和用于暴露周边区域的第二驱动晶体管的源/漏电极的第三接触孔；以及电极构图部分，形成于第一绝缘夹层上，该电极构图部分包括通过第一接触孔与像素区域的漏电极接触的第一电极构图，以及通过第二和第三接触孔将第一驱动晶体管的局部暴露的栅电极与第二驱动晶体管的暴露的源/漏电极连接的第二电极构图。