简化制造工艺的有源矩阵有机电致发光器件及其制造方法

摘要

在一种多层结构的有机EL器件中，在一个缓冲层上形成一个栅极绝缘层。在栅极绝缘层上形成第一绝缘层。在第一绝缘层上形成一个阳极。在阳极上依次形成具有共同的开口部的第二和第三绝缘层。通过开口部将一个有机EL层和一个阴极连接到阳极。阳极通过一个阳极接触孔连接到一个TFT的漏极，并且用第三绝缘层将TFT与有机EL层隔离。

主权项

1、一种有源矩阵有机电致发光器件包括：一基板；基板上的一半导体层和一存储电极；半导体层和存储电极上的栅极绝缘层，栅极绝缘层具有源极和漏极接触孔；位于半导体层之上的栅极绝缘层上的一栅电极；栅电极上的第一绝缘层，第一绝缘层覆盖存储电极并且具有与栅极绝缘层共同的源极和漏极接触孔；位于存储电极之上的第一绝缘层上的电源电极；第一绝缘层上的第一电极；第一电极上的第二绝缘层，第二绝缘层具有一开口部、一电极接触孔和一存储接触孔，第二绝缘层具有与栅极绝缘层和第一绝缘层共同的源极和漏极接触孔；在第二绝缘层上彼此分开的源极和漏极，源极通过源极接触孔连接到半导体层，并通过存储接触孔连接到电源电极，漏极通过漏极接触孔连接到半导体，并通过电极接触孔连接到第一电极；源极和漏极上的第三绝缘层，第三绝缘层具有与第二绝缘层共同的开口部；第三绝缘层上的一有机电致发光层，有机电致发光层通过开口部接触到第一电极；以及有机电致发光层上的第二电极。