发明名称 Process for making semiconductor devices
摘要
申请公布号 US3075892(A) 申请公布日期 1963.01.29
申请号 US19590840045 申请日期 1959.09.15
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION 发明人 JOHN HAROLD F.;JR. JOHN W. FAUST,
分类号 C23C18/16;C23C18/18;C25D5/34;C25D7/12;H01L21/00;H01L21/288 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
主权项
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