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发明名称
摘要
申请公布号 JP3379575(B2) 申请公布日期 2003.02.24
申请号 JP19980329760 申请日期 1998.11.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/285;H01L21/288;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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