| 发明名称 |
Method and apparatus for process control in the semiconductor manufacturing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002321815(A1) |
申请公布日期 |
2003.02.24 |
| 申请号 |
AU20020321815 |
申请日期 |
2002.08.08 |
| 申请人 |
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. |
发明人 |
MOSHE FINAROV |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/24;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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