| 主权项 |
1.一种机械传动系统,用以传送一物品至一机台,并因应地震之发生程度而自动停止运作,其系接收一地震感测装置所产生之一控制信号,该系统系包含:一机械传动装置,用以传送该物品至该机台;一警示装置,用以因应该控制信号之驱动,而产生一警示信号;以及一控制电路,电性耦接于该机械传动装置,因应该控制信号之驱动,而中断该机械传动装置之运作,用以保护因地震发生之该机台或该机械传动装置损毁。2.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该机械传动装置系为一机械手臂。3.如申请专利范围第2项所述之系统,其中该控制电路系为该机械传动装置之马达的驱动器控制电路。4.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该警示装置系为一液晶显示器(LCD)。5.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该警示装置系为一七段显示器。6.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该警示装置系为一蜂鸣器。7.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该警示装置系为一发光二极体(LED)。8.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该机械传动系统系包含一不断电装置(UPS)。9.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该机械传动系统系包含一讯号确认装置,用以确认该控制信号系为正确信号。10若申请专利范围第9项所述之系统,其中该讯号确认装置系为一延迟电路所构成。11.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该机械传动系统系包含一复归装置,用以于该机台之位移结构调整完成后,重新启动该机械传动装置运作。12.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该物品系为一晶圆。13.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该机台系为一半导体设备。14.如申请专利范围第1项所述之系统,其中该地震检测装置系为一地震仪。15.一种自动控制系统,用以传送一物品至一机台,该系统系包含:一地震感测装置,用以感测地震之发生,而产生一控制信号;一机械传动系统,电连接于该地震感测装置,用以因应该控制信号之驱动,而中断该机械传动系统之运作,俾使保护因地震发生而产生结构位移之该机台被该机械传动系统损毁。16.如申请专利范围第15项所述之系统,其中该地震检测装置系为一地震仪。17.如申请专利范围第15项所述之系统,其中该物品系为一晶圆。18.如申请专利范围第15项所述之系统,其中该机台系为一半导体设备。19.一种可因应地震发生而使机械传动装置自动停止运作之方法,该机械传动装系与一地震感测装置电连接,其系包含一警示装置及一控制电路,用以传送一物品至一机台,该方法系包含下列步骤:藉由该地震感测装置感测地震之发生,而产生一控制信号;接收该控制信号,以驱动该警示装置产生一警示信号;以及使该控制电路因应该控制信号之控制,而中断该机械传动装置之运作,用以保护因地震发生而产生结构位移之该机台被该机械传动装置损毁。20.如申请专利范围第19项所述之方法,其中该机械传动装置系为一机械手臂。21.如申请专利范围第20项所述之方法,其中该控制电路系为该机械传动装置之马达的驱动器控制电路。22.如申请专利范围第19项所述之方法,其中该警示装置系为一液晶显示器(LCD)。23.如申请专利范围第19项所述之方法,其中该警示装置系为一七段显示器。24.如申请专利范围第19项所述之方法,其中该警示装置系为一蜂鸣器。25.如申请专利范围第19项所述之方法,其中该警示装置系为一发光二极体(LED)。26.如申请专利范围第19项所述之方法,其中该物品系为一晶圆。27.如申请专利范围第19项所述之方法,其中该机台系为一半导体设备。28.如申请专利范围第19项所述之方法,其中该地震检测装置系为一地震仪。图式简单说明:第一图:其系本案第一较佳实施例之电路结构示意图。第二图:其系本案第二较佳实施例之电路结构示意图。第三图:其系本案机械传动系统因地震发生之流程图。 |
