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发明名称 Chemisch verstärkte Photoresistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69622249(T2) 申请公布日期 2003.02.20
申请号 DE1996622249T 申请日期 1996.12.12
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 HADA, HIDEO;YAMAZAKI, HIROYUKI;SUGETA, YOSHIKI;KOMANO, HIROSHI;ISHIKAWA, KIYOSHI
分类号 C09K3/00;G03F7/004;G03F7/033;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 C09K3/00
代理机构 代理人
主权项
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