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发明名称 System und Verfahren zum Neutralisieren eines Ionenstrahls mit Wasserdampf
摘要
申请公布号 DE69810713(D1) 申请公布日期 2003.02.20
申请号 DE19986010713 申请日期 1998.07.02
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BENVENISTE, VICTOR MAURICE;SINCLAIR, FRANK;CHEN, JIONG
分类号 H01J37/317;C23C14/48;G21K1/14;H01J37/02;(IPC1-7):H05H3/02 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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