| 发明名称 |
Abdichtung für die kontrollierte Auflösung eines Wafers im Mikro-Bearbeitungsverfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69528406(T2) |
申请公布日期 |
2003.02.20 |
| 申请号 |
DE1995628406T |
申请日期 |
1995.02.20 |
| 申请人 |
ROCKWELL INTERNATIONAL CORP., SEAL BEACH |
发明人 |
HAYS, KENNETH M. |
| 分类号 |
C23F1/00;B81C1/00;G01L9/00;H01L21/306;H03H3/007;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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