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发明名称 SCHICHTIGES MEDIUM UND VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON MUSTERN
摘要
申请公布号 DE69713500(T2) 申请公布日期 2003.02.20
申请号 DE1997613500T 申请日期 1997.02.06
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 GIMZEWSKI, K.;JUNG, THOMAS;SCHLITTLER, R.
分类号 C07D487/22;C09K3/00;G03F7/00;G11B9/14;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/26;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 C07D487/22
代理机构 代理人
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