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发明名称 Dünnfilmtransistor und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE4428312(C2) 申请公布日期 2003.02.20
申请号 DE19944428312 申请日期 1994.08.10
申请人 GOLDSTAR ELECTRON CO., LTD. 发明人 CHO, SEOK WON;CHOI, JONG MOON
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12;H01L21/84 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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