| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschichten von Gegenständen. Die vorliegende Erfindung ist ausgestattet mit den folgenden Merkmalen: mit einer einzigen Mikrowellenquelle; mit zwei oder mehreren Beschichtungskammern; alle Beschichtungskammern sind an die einzige Mikrowellenquelle angeschlossen; es ist eine Impedanzstruktur oder eine Hohlleiterstruktur zur Aufteilung der Mikrowellenenergie zur Erzeugung der Plasmen in den einzelnen Kammern vorgesehen.</p> |
