Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Herstellungsverfahren dafür

摘要

Ein Teil eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes, der aus einem Silikonmaterial eines Silikonsubstrats ausgebildet ist, wird als Düsen, Tintenkammern und einem Teil eines Tintenzuführdurchlasses zum Zuführen von Tinte in die Tintenkammern verwendet, und der übrige Tintenzuführdurchlaß wird aus einem sich von dem Silikonmaterial unterscheidenden Material ausgebildet und mit dem Teil des Tintenstrahlaufzeichnungskopfes verbunden, der aus dem Silikonmaterial gebildet ist. Eine Mehrzahl Tintenstrahlaufzeichnungsköpfe werden mittels eines Halbleiter-Herstellungsverfahrens als Blockeinheit ausgebildet und aus einem Silikonsubstrat in Blockeinheit ausgeschnitten.