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发明名称 Entwickler für positiv arbeitenden Elektronenstrahlresist
摘要
申请公布号 DE69430960(T2) 申请公布日期 2003.02.20
申请号 DE1994630960T 申请日期 1994.04.28
申请人 TORAY INDUSTRIES, INC. 发明人 OOSEDO, HIROKI;KATAOKA, MUTSUO;KANETSUKI, SHIGEYOSHI;TAMURA, KAZUTAKA;ASANO, MASAYA
分类号 G03F7/022;G03F7/20;G03F7/32;(IPC1-7):G03F7/32 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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