| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verbundmaterial mit einem Substratmaterial und wenigstens einer Barrierebeschichtung auf einer Seite des Substratmaterials. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Barrierebeschichtung auf das Substratmaterial mittels chemischer Plasma-Impuls-Bedampfung (PICVD) aufgebracht wird und die Barrierebeschichtung wenigstens eines der nachfolgenden Materialien umfasst: SiOx mit x⊂[0, 2], TiOx mit x⊂[0, 2], amorphe Kohlenwasserstoffe, elektrisch leitfähige Schichten, SnOx mit x⊂[0, 2], SixNy mit x⊂[0, 3], y⊂[0, 4], NbxOy mit x⊂[0, 2], y⊂[0, 5], AlxOy mit x⊂[0, 2], y⊂[0, 3].</p> |
