| 发明名称 |
WAGERECHTER DIFFUSIONSOFEN MIT HOHER LEISTUNG |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69332639(D1) |
申请公布日期 |
2003.02.20 |
| 申请号 |
DE19936032639 |
申请日期 |
1993.06.09 |
| 申请人 |
THERMTEC, INC. |
发明人 |
PECK, B.;ERICKSON, E.;MATTHEWS, H. |
| 分类号 |
F27D1/00;C30B31/10;F27B5/04;F27B5/14;F27D7/06;F27D21/00;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H05B3/10;H05B3/64;F27B5/00;C23C16/00;F27D3/00;C30B31/12 |
主分类号 |
F27D1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
