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发明名称 ELECTRODE CLAMPING ASSEMBLY AND METHOD FOR ASSEMBLY AND USE THEREOF
摘要
申请公布号 EP0826229(B1) 申请公布日期 2003.02.19
申请号 EP19960915875 申请日期 1996.05.17
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 LENZ, ERIC, H.;CALVISI, MICHAEL, L.;MILLER, IVO, A.;FRAZIER, ROBERT, A.
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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