发明名称 METHOD FOR SUBSTRATE NOISE DISTRIBUTION
摘要
申请公布号 EP1284012(A1) 申请公布日期 2003.02.19
申请号 EP20010930366 申请日期 2001.05.04
申请人 TELEFONAKTIEBOLAGET LM ERICSSON 发明人 LITWIN, ANDREJ;SJOESTROEM, JOHAN;DUNKARS, ANDERS
分类号 H01L21/22;H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/765;H01L21/822;H01L27/02;H01L27/04;H01L29/06;H01L29/10;H03M1/06;H03M1/08;H04B15/00;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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