发明名称 | 一种具有优良抗热冲击性能的绝缘金属基板的制备方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种具有优良抗热冲击性能的绝缘金属基板的制备方法,属微电子封装技术领域。该方法以铝板为基板,首先对其进行碱洗之后,对铝板进行电解抛光,再用阳极氧化工艺在铝板表面制备绝缘层,对已具有绝缘层的铝板在烘箱中进行烘干,利用磁控溅射、蒸发、化学镀等工艺在绝缘铝基板表面沉积金属铜层,然后进行电镀,使铜层厚度增厚到10~35μm。本发明的方法,使绝缘层具有优良的抗热冲击性能,阳极氧化绝缘层在热冲击实验中不会开裂。绝缘层的绝缘性能也满足封装要求,其中绝缘电阻率大于10<SUP>13</SUP>Ω·cm,击穿电压大于1000V,介电常数约为7。 | ||
申请公布号 | CN1397665A | 申请公布日期 | 2003.02.19 |
申请号 | CN02123427.2 | 申请日期 | 2002.06.28 |
申请人 | 清华大学 | 发明人 | 马莒生;朱继满;郭立泉 |
分类号 | C23C28/00;C25D11/04 | 主分类号 | C23C28/00 |
代理机构 | 北京清亦华专利事务所 | 代理人 | 罗文群 |
主权项 | 1、一种具有优良抗热冲击性能的绝缘金属基板的制备方法,其特征在于该方法包括以下步骤:(1)取0.5~3mm厚的铝板,对其表明进碱性除油液;(2)对铝板进行电解抛光,将铝板作为阳极浸入电解液中,用铅板或不锈钢板作为阴极,抛光工艺条件如下:电解液组成: 高氯酸 34.5% 醋酸酐 65.5%抛光电流密度: 2~5A/dm2 抛光时间: 2~5分钟电解温度低于30℃;(3)用阳极氧化工艺在铝板表面制备绝缘层,阳极氧化工艺参数如下:电解液:浓度为0.2~0.6mol/L的草酸溶液,用无离子水配制,电流密度:10~25mA/cm2,阳极氧化时间:40~80分钟,电解温度25~40℃,最终生成的氧化膜厚度为20~35μm;(4)对上述已具有绝缘层的铝板在烘箱中进行烘干,烘干工艺如下:在80~100℃下烘于0.5小时以上,然后缓慢升温至250℃,升温速率小于3℃/min,在250℃下保温0.5小时以上;(5)首先在绝缘铝基板表面沉积金属铜层,然后在其表明进行电镀,使铜层厚度增厚到10~35μm。 | ||
地址 | 100084北京市海淀区清华园清华大学 |