模块化的喷射器和排放装置

摘要

一种用于输送气体到基片上的喷射器和排气装置，它包括：至少两个彼此相邻且间隔设置以在其间形成至少一个排放通道的喷射器；和一个用于固定至少两个喷射器的安装板，其中至少两个喷射器中的每一个可单独安装到安装板或从安装板拆下，且安装板带有与至少一个排放通道连通的至少一个排放槽。排气装置固定到安装板以从喷射器排放气体。

主权项

1.一种用于输送气体到基片上的喷射器装置，包括：至少两个彼此相邻并间隔设置以在其间形成至少一个排放通道的喷射器；和一个用于固定至少两个喷射器的安装板，其特征在于至少两个喷射器中的每一个可单独安装到安装板上或可从安装板上单独拆下的，且安装板设有与至少一个排放通道流通的至少一个排放槽。