发明名称
摘要
申请公布号 JP2003506823(A) 申请公布日期 2003.02.18
申请号 JP20010514446 申请日期 2000.07.21
申请人 发明人
分类号 H01J9/12;H01J1/34;H01J37/073;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/073 主分类号 H01J9/12
代理机构 代理人
主权项
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