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发明名称
摘要
申请公布号
JP2003506823(A)
申请公布日期
2003.02.18
申请号
JP20010514446
申请日期
2000.07.21
申请人
发明人
分类号
H01J9/12;H01J1/34;H01J37/073;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/073
主分类号
H01J9/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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