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发明名称
摘要
申请公布号 JP3377160(B2) 申请公布日期 2003.02.17
申请号 JP19960332584 申请日期 1996.12.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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