发明名称 Improvements in or relating to processes for the production of semi-conductor arrangements
摘要
申请公布号 GB937497(A) 申请公布日期 1963.09.25
申请号 GB19600018321 申请日期 1960.05.24
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 B63H11/02;B63H11/08;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/24;H01L21/322;H01L29/78 主分类号 B63H11/02
代理机构 代理人
主权项
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